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凈化車間施工驗收檢測方法和要求
為了保證凈化車間的日常運行能夠滿足其設計標準，定期的檢測和維護是十分必要的，對凈化車間的檢測一般有：過濾器撿漏、靜壓差檢測、風量風速檢測和潔凈度檢測。
1、 過濾器檢漏：
目的：為了確定無塵室內安裝過濾器的氣流速度。
儀器：風速儀
檢測方法： 參考標準（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 4. 2
1>. 每塊過濾器或風機單元組合分成 2~4 個測試區(qū)域。“2 英尺 X 4 英尺” 的過濾器分成 2 個測試區(qū)域； “4 英尺 X 4 英尺” 的過濾器分成 4 個測試區(qū)域。
2>. 檢測儀器安裝 VelGrid 測試架。
3>. 測試架放置到待測試區(qū)域的中間，其支撐腳輕輕接觸過濾器出風面， 保持測試架邊緣與過濾器邊緣平行， 測試點到過濾器出風面的距離大約為 15~30 厘米。
4>. 每一測試區(qū)域取一個穩(wěn)定讀數并記錄。
判定標準：
過濾器國標統(tǒng)一驗收標準，0.36~0. 54m/s(米/秒），若過低則影響整個無塵室送風量， 偏高一點無太影響，但決不能偏低。 否則失去意義， 且塵粒測試很難通過。
一般對于高效過濾器，用掃描法對過濾器邊框和全斷面進行檢漏。掃描法分為檢漏儀法和粒子計數器法兩種。
對于超高效過濾器，其撿漏方法有凝結核計數器法和激光粒子計數器法兩種。使用檢漏儀撿漏時要注意以下幾點：
a. 被檢漏過濾器必須已測過風量，在設計風速的 80-120%之間運行。
b. 在同一送風面上安有多臺過濾器時，在結構上允許的情況下，宜用每次只暴露
1 臺過濾器的方法進行測定。
c. 當幾臺或全部過濾器必須同時暴露在氣溶膠中時，為了對所有過濾器造成均勻混合，宜在風機吸孜端或這些過濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠，立即在受檢過濾器的正前方測定上風側濃度。
d. 對于高效過濾器，當檢漏儀表為對數刻度時，上風側氣溶膠濃度應超過儀表最小刻度的104 倍。（歡迎大家使用中建南方標準化空氣過濾器，安裝，維護簡單）
2、 風量風速檢測：
1>. 風量風速檢測必須首先進行， 凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。
2>. 風量檢測前必須檢查風機運行是否正常， 系統(tǒng)中各部件安裝是否正確， 有無障礙(如過濾器有無被堵、 擋) ， 所有閥門應固定在一定的開啟位置上， 并且必須
實際測量被測風口，風管尺寸。
目的： 驗證無塵室系統(tǒng)在無塵室內維持規(guī)定的空氣壓差的能力。
儀器： 靜壓表 （或萬用風速儀壓差檔）
檢測方法: 參考標準（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 5
a. 在進行壓差測試前， 確定無塵室送風量和設施平衡已經在規(guī)定范圍內。
b. 在整個測試期間所有進入無塵室及參考區(qū)域的門都關閉良好。
c. 如果無塵室內被分割成不止一個封閉潔凈區(qū), 則需測量最里面房間與最緊臨房間之間的壓差。這種測量一直持續(xù)至測量出最后個封閉區(qū)與周圍附屬環(huán)境之間與室外環(huán)境之間的壓差。
d. 測量并記錄無塵室和臨近房間的壓差。
判定標準：
不同級別的無塵室之間，高級別的壓差通常至少要比低級別大 5Pa 以上方可;從無塵室直接向外的壓差必須是凈化車間內大于外部環(huán)境 10Pa 以上方可。
3、 靜壓差檢測：
目的： 確認過濾器系統(tǒng)安裝良好或在使用過程中沒有發(fā)生泄漏。
儀器： 塵粒計數器 （配檢漏探測頭）
檢漏掃描方法: 參考標準（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 6. 3;
1>. 測試前確認過濾器已經通過風速檢測。
2>. 測試過濾器上游 0. 3um 及更大粒徑的塵粒濃度。
3>. 檢測取樣頭來回掃描移動速度大約為 1. 5cm/s。
4>. 檢測取樣頭到過濾器出風面或過濾器框架的距離大約為 3 厘米。
5>. 掃描應覆蓋每塊過濾器下風向整個表面， 每個過濾器的周邊、 過濾器框與安裝架構造之間的封條, 包括其結合部。
判定標準：
在掃描時, 如果顯示出有等于或大于限值的泄漏, 表現(xiàn)出規(guī)定的泄漏特征, 則應把取樣頭停在泄漏處復測。 如顯示出仍等于或大于限值的泄漏, 可判定過濾器該處有泄露。 如果沒有觀測到任何超過限值的泄露， 則判該過濾器無泄露。
1、 檢測靜壓差時要關閉所有的門進行， 并從內之外逐個房間進行。
2、 對于潔凈度高于100級潔凈車間， 還應測定在門開啟狀態(tài)下，離門口 0. 6m 處的室內側工作面高度的粒子數。
4、 潔凈度檢測：
測定潔凈度的最低限度采樣點數按規(guī)定確定， 每點采樣次數不少于 3 次， 各點采樣次數可以不同。
目的： 確定無塵室內由基本無塵室機械和電子系統(tǒng)產生的噪聲水平。
儀器： 聲級計檢測要求及方法 ： 參考標準（文件） --GBJ 122-88
1>. 測試之前完成空調系統(tǒng)平衡調節(jié)。
2>. 測試前確定所有風機過濾器單元和空調系統(tǒng)設備在正常進行。
3>. 將無塵室分成不大于 40 平方米的測試單元。
4>. 測試儀放置在離地板 1. 2 米高度， 且感應器垂直向上。
5>. 在每一個測試點測量并記錄讀數。
5、 照度檢測 ( Illuminance )
目的： 確定潔凈室內工作高度的照明強度。
儀器： 照度計
檢測方法: 參考標準（文件） --GB/T 5700 (2008)
1>. 測試之前所有熒光燈已累計點亮 100 小時。
2>. 測試前所有熒光燈已連續(xù)點亮 40 分鐘以使溫度穩(wěn)定。
3>. 將無塵室分成 “3 米 X 3 米” 的測試單元。 .
4>. 測試儀感應器朝上放置在每一個測試單元中間， 在 0. 8 米的高度。 測點距離墻壁 1. 0 米
判定標準：
根據國標要求常規(guī)室內工作環(huán)境照明度需在 800~1200 Lux （ 勒克斯）。
6、 防靜電地板檢測 (Floor static-dissipative property)
目的： 驗證無塵室防靜電地板的靜電消散性能滿足規(guī)范控制要求的能力。
儀器： 兆歐表
檢測方法: 參考標準（文件） --ISO 14644-3 (2005) , B. 10. 2. 1. 2.
1>. 測試之前清潔電極和地板表面。
2>. 對每一塊待測地板， 將接儀器正極的 5 磅電極放在測試點， 接儀器負極的導線接工廠公共接地端。 按“測試” 鍵測量地板接地電阻并記錄測量結果。
3>. 測量并記錄環(huán)境溫度、 濕度。
判定標準：
一般新裝的防靜電地板初次測試規(guī)格要求 2. 5X104~2. 5X106 歐姆；對于防靜電要求不高的一般至少要≦1. 0X109 歐姆的最低標準， 否則不能作為防靜電地板使用。
7、 溫、 濕度檢測 (Temperature & Humidity)
目的： 驗證無塵室空調系統(tǒng)在無塵室內維持其空氣溫度、 濕度在規(guī)定范圍內的
能力。
儀器： 溫濕度計（ 或 萬用風速儀溫濕度檔）檢測方法: 參考標準（文件） -- ISO 14644-3 (2005) , B. 8 &B. 9
1>. 該測試應在空調系統(tǒng)運轉及穩(wěn)定至少 1 小時后進行。
2>. 將無塵室分成不同的測試單元。 測試單元的大小應按客戶和供應商間的協(xié)商同意選定測試點應不少于兩個。
3>. 測試感應器應置于工作高度， 且離天花、 墻壁和地板的距離不少于 300mm。
4>. 測試感應器放置的位置選擇應考慮熱源存在的影響。
5>. 測試時間應至少為 5 分鐘， 至少每分鐘取一個讀數并記錄。
判定標準：
根據客戶提供的潔凈廠房設計規(guī)范范圍來判定。 比如中高端行業(yè)一般要求：溫度 23+2oC, 濕度 45%~65%。
8、 塵粒度檢測 ( Airborne particle counts )
目的： 測量無塵室塵粒濃度， 并確定其與 ISO 14644-3 (2005) , B. 1 規(guī)范要求的符合性。
儀器： 塵粒計數器
檢測方法: 參考標準（文件） : ISO 14644-3 (2005) , B. 1
1>. 測試前確認影響無塵室或無塵區(qū)域運轉完整性的所有部分都已完成并
按設計性能規(guī)范運轉。
2>. 將無塵室劃分成滿足以下要求的不同測試單元：最少測試點數量為： 以平方米為單位的無塵室面積的平方根（入到整數）。
3>. 取樣頭豎直向上放置。
4>. 設置粒子計數器的取樣速率為 1 立方英尺每分鐘， 取樣時間為 1 分鐘。
5>. 在每個測試單元中間至少取一個樣并記錄相應讀數， 取樣頭離地板的高度為約 0. 8 米。 與客戶協(xié)商同意， 記錄 0. 5um 和更大尺寸粒子濃度的讀數。
9、 判定標準：
進行此項測試時, 無塵室內應保持空態(tài)或靜態(tài), 即在完成其它相關測試和施工之后.不同級別環(huán)境對塵粒度控制規(guī)格不同: 指每立方英尺測試體積里,注： 空態(tài)測試結果=實測值 X10%
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